二手 ULTRATECH 1100 #9036435 待售

ULTRATECH 1100
製造商
ULTRATECH
模型
1100
ID: 9036435
Steppers.
ULTRATECH 1100是一種高度先進的晶圓步進器,設計用於半導體晶圓光刻加工。該設備簡化並提高了許多行業的生產率,例如汽車、航空航天、醫療和消費電子產品。該設備由多個主要組件組成,包括一個X-Y級、一個掃描儀以及各種形式的軟件和用戶界面,用於對系統的活動進行編程和控制。X-Y級負責將晶片精確定位在舞臺上,控制舞臺的速度和方向。此外,X-Y級還負責控制光刻過程中晶圓坐標和運動的精度。使用石英塗層級板,X-Y級可以確保晶片精確對準用戶指定的圖樣,精度約為0.1um。掃描儀,又稱光頭,負責可視化要處理到晶圓上的設計或圖案。這一過程需要極其精確的光學器件,如手動對焦透鏡,這需要微觀的精度,以確保設計被應用並精確轉移到晶片上。此外,光頭組件由光束消隱裝置組成,用於防止圖樣在某些區域施加到晶圓上。1100晶圓步進器使用集成軟件操作,用於控制和調整各種參數,如對準精度、光束偏轉、聚焦、光束曝光時間、速度設置等。系統在軟件中輸入指令和參數以進行光刻操作。還提供了交互式圖形用戶界面,用於在用戶需要時啟用對設備的手動控制。從手動聚焦透鏡到石英級板,ULTRATECH 1100提供了精密安全的光刻體驗,適合半導體加工。該系統可提供精確的晶片光刻技術,其精度可降至0.1um,是晶片光刻工藝的理想選擇。
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