二手 ULTRATECH 1100 #9085382 待售

製造商
ULTRATECH
模型
1100
ID: 9085382
晶圓大小: 6"
Steppers, 6" Autoloader Stage (2) Servo motors PCBs.
ULTRATECH 1100是為高級光刻設計的最先進的晶圓步進器。晶圓步進器能夠進行低至130納米的模式傳輸,並顯著減少了前幾代晶圓步進器的吞吐量時間。1100具有使其成為任何晶圓廠工藝必備的功能。ULTRATECH 1100的核心是其先進的光刻設備,該設備使用激光光學器件在2D面罩上精確制圖。這些面罩由鉻、金或其他反射材料組成,更容易被激光套用,導致面罩上圖像的更精確表示。此外,1100還使用其創新的擴散屏蔽系統來保護掩模在曝光期間不受任何類型的幹擾。DSS還通過確保均勻的線條間距和邊緣敏銳度來幫助保持圖像質量。ULTRATECH 1100還利用了掃描控制技術,該技術可以在掩模投影到基板上時準確有效地跟蹤掩模上的圖樣。這種SCT技術還可以通過減少每次曝光所花費的時間來提高速度並節省大量時間。為了保持質量和準確性,1100設計了一個三點對準單元,以確保激光光學器件的精確對準。這臺機器是ULTRATECH 1100獨有的,可根據透鏡、蒙版或基板的任何失真情況進行調整,確保在整個過程中都能精確成像。1100也完全可定制,允許調整激光中心頻率和光學器件,以滿足各種工藝的需要。ULTRATECH 1100能夠處理直徑達8英寸的晶片,使其能夠創建更大、更復雜的圖案。此外,1100包含先進的糾錯算法和15納米自動聚焦能力,使其成為前沿設備的首選。最後,其用戶友好的操作、通信協議和容錯工具使ULTRATECH 1100成為可靠且易於使用的晶圓步進器。1100具有豐富的功能列表和多功能功能,是滿足光刻需求的理想選擇。
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