二手 ULTRATECH 1100 #9114895 待售

ULTRATECH 1100是為精密生產先進半導體器件而設計的先進晶圓步進器。這種先進的工具為制作高質量的光刻圖像提供了一種高效和經濟高效的方法。其特性通過將光刻圖像精確快速地置於薄薄的光刻層上，有助於減少晶圓的生產時間。1100包括一個平滑輪廓的光學設備,其設計可優化圖像質量並提高性能。它有10-12毫米的現場停止範圍，最大曝光面積為8x6英寸。該系統還有一個自動對準單元，確保每個光刻圖像的準確放置。它利用先進的遠心光學和可變數值孔徑能力，以確保多層光致抗蝕劑最準確、最高效的對準。該機還具有市場上可用的最高數值孔徑（NA），達到0.575，允許高分辨率打印錯綜復雜的圖案和細線形狀。這樣可以在設備上產生極小的功能。此外，該機還具有石英透鏡元件，用於均勻和一致的紫外線照射，用於所需的光致抗蝕劑層。該機還具有先進的基板分級機，以保證光刻放置的準確性。它還有一個集成的基板處理工具，使自動化，無人值守操作。此資產減少了在機器上設置和定位晶片所花費的時間。此外，ULTRATECH 1100還具有多種先進的軟件功能，如：完全集成的工藝數據驗證、用於監測沖擊和振動水平的數字加速度計、用於存儲和審查先前作業的高級數據庫、用於預覽每層光刻膠的晶圓成像模型以及協助LED照明以提高性能。所有這些功能結合起來，使1100成為目前市場上最高效、最可靠的晶圓步進器。