二手 ULTRATECH 1100 #9224143 待售

ULTRATECH 1100是一種先進的晶圓步進器，設計用於光刻工藝。它具有處理直徑從4「到8」的各種晶片的能力。步進器的專利機動化頭級允許晶片的精確定位和可重復對準，用於精確覆蓋和步進/重復成像。1100的真空密封晶片投擲單元是為了最大的晶片處理精度而設計的，並且能夠進行微調和微動力學的運動，允許精確的定位。步進器配備了支持高達30萬 lux的曝光水平的曝光單元。這允許廣泛的曝光時間和各種程度的靈敏度。ULTRATECH 1100還具有許多工作站,包括潛像監視器、標線組件、用於光暈還原的機械快門、氦流校準器和用於控制細顆粒的氣體分散裝置。該系統還包括一個精密的晶圓對準級能夠亞微米定位精度。此特征允許在x和y軸上進行叠加控制,以確保一致的叠加和正確的陣列。1100使用24英寸掩碼最多可執行16,000步。ULTRATECH 1100是一種非常靈活可靠的用於生產應用的晶圓步進器。即使在高暴露水平下,它也能提供快速的周期時間和精確的精度。其機動化的頭部級允許精確定位，其先進的計量和檢查系統保證了關鍵的準確性。此外，每一個步驟/重復周期都得到監測和驗證，保證與每一種使用保持一致的性能。1100提供可靠的性能、靈活性和快速的周期時間,滿足各種生產要求。