二手 ULTRATECH 1100 #9238245 待售

ULTRATECH 1100是一款高度先進的深層紫外線（DUV）幹光光刻設備，旨在滿足領先半導體制造商的需求。它具有步進和掃描儀配置，在各種晶圓水平上產生卓越的成像和覆蓋精度。該系統提供了廣泛的應用，包括先進晶片級芯片規模封裝（WLCSP）的圖樣化、透矽通過（TSV）技術和纖薄晶片/無帶粘結。1100可提供高達0.25微米μ分辨率的高成像分辨率。此外,它還具有市場上20mm時0.3 μ m的最高覆蓋精度。針對超低工作距離對內置光學單元進行了優化，最大限度地減少了晶片邊緣畸變對圖像精度的影響。此外,步進器還采用了基於圖像的自校準（IBSC）和彩色約束對準（CRA）方面的最新技術,提供卓越的成像性能,以及環境穩定性和高生產率。ULTRATECH 1100幹步進器能夠在整個基板區域內繪制小至0.1 μ m x 0.1 μ m的非常精確的特征圖樣,從而無需使用階梯式曝光等多種曝光技術。機器的其他一些功能包括高級背景減法、用於增強聚焦精度的Accu-Clamp Tool和支持多達15kHz個數據輸入頻率的垂直位移對準（VDA）。1100配有用戶友好的圖形用戶界面、高精度的平場照明、先進的攝像頭資產，支持32位CMOS數字視頻捕獲和最新的圖像處理算法。為了提高全型號的工作效率,步進器配備了遠程I/O接口和以太網遙控器,從而實現了多個系統之間的無縫過渡。此外，ULTRATECH 1100包含了一系列增值功能，以滿足不同生產工藝的具體需求，如自動換鏡和電動晶圓運動。1100具有全面的步進能力,可提供高精度成像技術和高吞吐量吞吐量應用。