二手 ULTRATECH 1100 #9244754 待售

ULTRATECH 1100是一種高性能的存在晶圓步進器，允許用戶以高度通用可靠的方式自動對齊和測量基板。這臺機器非常適合加工薄基板，如半導體晶片，具有微米級精度和均勻的吞吐率。它配備了一個23英寸的大型舞臺，可以進行嚴格的對準和測量。1100帶有自動對準系統,可精確地掃描基板表面放置和對準晶片掩碼和器件層。這樣可以確保高生產率和產量,同時減少錯誤和不合格。步進器采用多層映射系統進行設計，對基板邊緣進行精確成像，並進行復雜調整以實現最佳對準，從而獲得最高精度。使用ULTRATECH 1100進行處理是自動化的,允許對對齊、曝光和測量進行完全數字控制。這樣可以提高吞吐量速率而不犧牲質量。步進器可以配置各種真空技術，以便對基板進行可靠的處理。其堅固的設計確保了可重復的接觸過程，從而最大限度地減少了基材之間質量變化的可能性。1100還提供了先進的模式識別系統，方便詳細的檢查和分析。其曲面映射功能允許操作員檢查晶片到晶片的性能並進行必要的調整。步進器還配備了板載應變儀，以精確測量基板曲率，進一步實現圖像手動/現場補償和優化。此外,ULTRATECH 1100還提供卓越的性能和與微加工工藝的廣泛兼容性。它支持廣泛的加工技術，包括氧化、植入、蝕刻、自旋塗層和光刻膠自旋技術。利用直觀的軟件,步進器易於操作,並得到在線資源的支持。1100是一種用於半導體加工的高度可靠的晶圓步進器,可提供最高精度和吞吐量。