二手 ULTRATECH 1500 MVS #293596107 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一種用於光刻的全自動、最先進的晶圓步進器。1500 MVS利用深U/V （Ultra-Violet）光刻的高性能,在半導體晶圓上創建復雜電路特征時提供了高度的精度和精確度。ULTRATECH 1500 MVS的設計旨在促進光掩模與晶片的精確、可重復對準,從而創建金屬或矽的晶體定義、縮放層。高精度的光學對準確保了精確和一致的光凹陷,這對於功能電路設備的生產至關重要。1500 MVS能夠一次容納多達十個矽片，允許高吞吐量生產。ULTRATECH 1500 MVS提供了幾種增強光刻精確度和性能的功能,包括用於測量掩模精確位置的高分辨率攝像頭和用於跟蹤晶片相對於掩模的確切位置的步進對準編碼器。此外，系統中內置了一個高精度的光學對準目標，以確保高度可重復的模式放置。1500 MVS還具有主動運行時吞吐量優化算法，以最大限度地提高每個生產運行的產量和效率。可以在一次運行中處理多層不同的特征、分辨率、覆蓋層和材料,從而在復雜設備的生產中實現前所未有的性能。ULTRATECH 1500 MVS的機器界面進一步簡化了生產運行，實現了嚴格的過程參數控制。總體而言,1500 MVS是一種高度先進的晶圓步進器,能夠生產技術和功能復雜的超高分辨率設備,結果一致,精確度高。ULTRATECH 1500 MVS非常適合更復雜和要求更高的生產過程,例如與半導體器件制造相關的過程。