二手 ULTRATECH 1500 MVS #9188725 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一種獨立的晶圓步進器，專門為大體積、低成本晶圓標線曝光而設計。步進器能夠提供精確的對齊功能尺寸小至0.2微米。它具有獨特的掃描面罩對齊器設計,可確保整個磁場的光照均勻性,並且面罩頭配有專利解決方案,即掃描位置鎖（SPL）機構,可確保晶圓對齊精度,大大降低織帶和變形效果。1500 MVS系統具有多級索引步進壓板技術，能夠單程提供每小時650晶片的吞吐量，以及具有可調功率和脈沖寬度的高度穩定、低失真的氙汞光源。該系統在所有軸上都具有+/-2微米的可重復性，這對於其類來說極為精確。再者，ULTRATECH 1500 MVS還附帶了AutoFieldAlign等多種強大的功能，使得場失真能夠實時自動校正；MultiFlash，允許從單個塗層板編程多達20個序列的多次曝光；和Adaptive Exposure，它使用先進的光學傳感器即時監控晶圓對準，並自動相應地調整照明。1500 MVS是晶圓標線曝光的可靠且成本效益高的解決方案，特別是針對大批量生產的需求。其穩定的氙光源確保了一致的照明水平，而靈活的編程選項和實時自動校正功能則確保了準確性和可重復性。它是短期項目、產品頻繁變更、生產精密無與倫比的優質晶圓標線的完美系統。