二手 ULTRATECH 1500 MVS #9229103 待售

ULTRATECH 1500 MVS（MaskApply II Stepper Equipment）是一種專門的晶圓步進器，用於半導體製造中使用的光掩模的直接成像。該系統旨在快速準確地創建光掩模圖樣，用於產生集成電路的光刻過程。1500 MVS能夠在分辨率高達2微米的情況下產生3個骰子。它利用SynBit專有技術實現了可靠的對齊和過程自動化。該單元具有高精度晶圓操控機、抗靜電控制工具、精密光束傾斜調節資產和恒星圖像投影儀。MaskApply II步進模型旨在滿足半導體工藝工程師的需求。它具有一套硬件和軟件組件,這些組件可以協同工作,使許多復雜的映像過程更輕松。該設備提供高性能和一致性,每小時可實現高達2100晶圓的吞吐量。MaskApply II步進系統提供多種高級功能,可提高準確性和速度。除了傾斜和聚焦系統外，ULTRATECH 1500 MVS具有集成光學顯微鏡和先進的真空控制器。這種集成的光學顯微鏡使得在圖樣印在晶圓上之前能夠精確檢查遮罩圖樣成為可能。而先進的真空控制器則有助於在保持均勻照明和圖像聚焦的同時，最大限度地減少蒙版上的應力。除了這些功能外,1500 MVS還提供集成軟件包,用戶可以創建、分析和優化流程配方。其他功能還包括用於精確掩模定位的對齊跟蹤單元、便於比較工藝配方的預加載數據庫以及集成的顆粒監測機。總體而言,ULTRATECH 1500 MVS是一種功能強大且可靠的晶圓步進器,適合在各種半導體工藝環境中運行。該工具提供了一組可靠的功能和特性,使其非常適合直接成像光掩模,也適合生產集成電路的光刻工藝。