二手 ULTRATECH 1500 MVS #9256268 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一種晶圓步進器，或一種光刻機，設計用於制造半導體器件。該機采用步進重復工藝，將細密圖案的粘合層和具有零件幾何特征和結構從亞微米到宏觀的光刻塗層進行曝光。該系統具有廣泛的用戶選擇的基板尺寸和自動對焦功能，以確保準確性。1500 MVS利用可編程雙軸掃描運動系統在整個掃描範圍內進行掩模對準和測量精度。其先進的掃描技術和由此產生的穩定性允許在芯片上暴露越來越小的特性。它還提供了整個掃描範圍內真正均勻的掃描速度。步進器配有陰極射線管晶片級，其音高精度為20 μ米，運動範圍為100 × 100毫米（或更大），掃描速度高達500毫米/秒，可用於光刻的快速精確的晶片定位和對準。該機器還具有自動對焦功能，有助於進一步提高對準精度和可重復性。整個系統采用模塊化設計,便於自定義配置和快速設置。它的「精益設計」還減少了不必要的零件和零件磨損量,提供了一臺更可靠的機器,它運行的維護周期更少,並通過最小化停機時間來提高工作效率。ULTRATECH 1500 MVS的另一個特點是其可調節的自動傾斜定位功能，允許符合各種基板表面和組件。步進器還設計為每小時運行多達160個晶片,具有自動卡帶加載/卸載功能和條形碼讀取器,從而實現高效、精確的光刻性能。總之，1500 MVS是一種出色的晶圓步進器，提供可靠和可重復的性能。該機速度極快，設置方便，可通過可調傾斜能力處理各類基板尺寸。它是任何光刻工藝的理想機器。