二手 ULTRATECH 1500 MVS #9267164 待售

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ULTRATECH 1500 MVS
已售出
ID: 9267164
Stepper With chuck, 6" Wafer handling: Autoloader, 6" (Cassette to cassette) Line resolution: 1.0 µm Depth of focus: Standard 3.0 µm at 1.0 µm lines Maximum square: 18 mm x 18 mm Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm Reticle size: 3" x 5" x 0.090" Alignment: WAS / MVS Computer: HP / HEWLETT-PACKARD 362.
ULTRATECH 1500 MVS(Multichannel Vibrating Sample)是一種全自動、高精度的晶圓步進器,設計用於半導體的制造和研究應用。這種設備被設計用來精確測量晶片的微觀特征,並具有亞微米精度,可以配置為處理各種各樣的基材尺寸和形狀。該機器能夠分析晶體結構、摻雜濃度、地形、表面成分、電性能和其他參數。該系統的核心是由三個子系統組成,即樣品準備、測量和分析。樣品制備單元是機器的關鍵部件,包括自動濕蝕刻工具和一系列用於基材制備和處理的配件。該資產可隨時處理多達四個晶片,並提供具有可重復結果的一致質量。測量子系統裝有兩個平面驅動級,以確保掃描基板時的高精度和重復性。這些階段能夠在比樣品制備模型更大的面積上掃描基材,從而能夠進行更詳細的分析。映射過程由具有高動態範圍和精度的單軸掃描鏡像完成。最後,分析子系統提供了測量數據的綜合後處理,以確定制造或研究所需的參數。可以縮放和處理數據以創建實時和3D圖形顯示以進行評估。1500 MVS是一種高度通用、精密的晶圓步進器,使用其自動化的樣品制備、測量和分析子系統易於操作。配置可以改變,以根據特定應用的需要量身定制設備,圖形數據顯示信息豐富,可以快速輕松地操作,產生精確的測量。ULTRATECH 1500 MVS具有卓越的性能和靈活性,為半導體和研究應用提供了無與倫比的精確度和易用性。
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