二手 ULTRATECH 1500 MVS #9280621 待售
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ULTRATECH 1500 MVS晶圓步進器是一種高性能、全場可編程光刻設備,設計用於移動高分辨率半導體微芯片。這臺機器采用先進的設計平臺,融合了光刻、控制系統和成像技術的最新進展。1500 MVS提供卓越的準確性、可重復性和圖像保真度。它能夠成像所有類型的基材,包括晶片、面膜和鋁箔。該系統是完全自動化的,允許最快、最準確的操作。ULTRATECH 1500 MVS利用運動學、精密電動機、幹涉測量和圖像處理,在其成像區域內精確精確地移動晶圓。光學設計允許最大限度地利用設備,從而提供盡可能快、分辨率最高的圖像。該機采用兩種幹涉儀,跟蹤調整晶圓的位置和旋轉。1500 MVS還包括高速圖像傳感器、計算機和控制軟件,提供了完整的可編程光刻工具。ULTRATECH 1500 MVS最多可容納8英寸底物,分辨率為5微米。該資產允許在每個基板上放置數千個晶圓位點,從而實現了半導體器件的大批量制造。對準精度為+/-0.2micron,可在最終產品中實現卓越的電氣性能。1500 MVS是要求苛刻的高性能應用的完美解決方案,因為它具有可重復的精度和高保真成像。ULTRATECH 1500 MVS附有高速影像追蹤、步進重複、光刻程式等多種特性,允許在每個晶圓上精確放置特徵。該型號還附有透鏡、擋板、LED等預先校準的光學元件的綜合庫。1500 MVS能夠運行各種類型的曝光程序,使其成為各種圖像成像的通用工具。除了先進的成像能力外,ULTRATECH 1500 MVS還附帶了先進的性能特性,如支持多站點晶圓、可編程掃描速率、可變體積掩碼,以及實現一流性能的自動調平。這臺機器可以通過可選附件進一步定制,如集成掃描儀和自動加載設備。1500 MVS是一種工業級晶圓步進器,能夠提供卓越的性能和可靠性。其高精度成像能力、先進的控制設備和堅固的構造使其成為大容量半導體制造的理想選擇。
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