二手 ULTRATECH 1500 MVS #9306125 待售

ULTRATECH 1500 MVS晶圓步進器是一種用於光刻和電路制造過程的高精度機器。它被設計用來快速準確地將圖樣暴露在幾種不同類型的半導體晶片上。1500 MVS是一種3軸光刻機，利用計算機控制的舞臺，精度範圍為+或-5微米。它具有0.5弧秒分辨率的精密6軸旋轉運動級。這使用戶能夠精確控制晶片步進器激光器的曝光、放置和角度。ULTRATECH 1500 MVS采用高分辨率可變功率激光器（波長可達10.6 μ m），可產生高達10,700 °F的溫度。該機器還具有「毯子」功能，通過使激光束符合晶圓尺寸，有助於最大程度地減少來自激光器的能量損失。這有助於確保均勻曝光。1500 MVS晶圓步進器能夠快速暴露高保真度的模式。每毫米最多可露出10行的口罩。此外,機器還可以精確地曝光長寬比從0.1到4.4不等的晶片。該機還配備了多區域和粗細對準系統，非常適合不同間隙要求的應用。對準系統有助於確保晶片上的曝光區域精確對準。此外,它還具有允許用戶即時修改曝光參數的軟件程序。ULTRATECH 1500 MVS的設計目的是通過提供快速的負載/卸載時間和較高的舞臺速度（最高0.3毫米/秒）來最大化吞吐量。此外，該機器的設計能夠高效、準確地處理各種晶圓尺寸和模式。1500 MVS是先進可靠的晶圓步進器。其電腦控制階段、高分辨率激光、多區域對準系統以及快速的裝卸能力使其成為量產作業的理想之選。