二手 ULTRATECH 1500 WAS #9085381 待售
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ULTRATECH 1500 WAS是ULTRATECH, Inc.步進器設計用於制造過程中半導體器件的精確對準和定位。步進器為高精度光刻應用提供了前所未有的精度和可重復性。1500 WAS利用多望遠鏡和1.5 µm超罐照明設備等先進技術,提供了高度的準確性和可重復性。步進器結合了多望遠鏡光學設計,結合了幾種獨立修改的望遠鏡,以確保精確對準。該系統還允許廣泛的曝光波長和強度,以實現有效的光刻。此外,它的1.5 µm超聲照明單元提供高效的高分辨率照明精確對準。ULTRATECH 1500 WAS采用強大的控制儀表板構建,可輕松準確地集成多個過程步驟。該機器具有直觀的用戶界面、功能強大的基於Windows的控制工具以及廣泛的自動化功能,允許用戶自定義過程的每個步驟。這使得步進器具有很高的適應性,並且易於用於生產過程。1500 WAS在制造過程中提供了高水平的速度和精度。它可以容納直徑不超過200毫米的晶片,並使用正在申請專利的快速掃描資產,使總面積的散焦和對準掃描速度達到每晶片1秒。此外,該模型的對準精度最低為0.2 µm,位置精度最高為0.4 µm,進給精度為0.1 µm。ULTRATECH 1500 WAS可為產品需求定制,可用於半導體接觸柵格陣列制造、半導體測試、醫療設備制造和生物技術等多種應用。該設備還提供各種附加選項,如曝光階段、背面和源照明,以及各種鏡頭和濾鏡,以優化性能。1500 WAS是ULTRATECH, Inc.制造的先進晶圓步進器,用於制造過程中半導體器件的精確對準。步進器利用多望遠鏡和1.5 µm超罐照明系統,為高精度光刻應用提供了前所未有的精度和可重復性。此外,該設備還具有直觀的用戶界面、功能強大的基於Windows的控制機器以及廣泛的自動化功能,可實現高速度和高精度。ULTRATECH 1500 WAS非常適合各種應用,如半導體接觸柵格陣列制造、半導體測試、醫療設備制造和生物技術。
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