二手 ULTRATECH 1500 WAS #9293282 待售
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ID: 9293282
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
Stepper, 6"
WAS Alignment can be upgrade to MVS
Wafer autoloader can be upgraded to TAZMO Loader
Reticle: 3x5 converted to 5x5
2007 vintage.
ULTRATECH 1500 WAS是為高性能半導體集成過程而設計的先進晶圓步進器。這種晶圓步進器提供了一種自動化的方法，用於精確和快速地陣列多個半導體層納米分辨率。其專利技術利用集成的直接掃描技術（DST）生產具有極其精確的特性和最小空間浪費的半導體芯片。1500 WAS具有高分辨率的自動化陣列設備,能夠處理0.6米μ間距及以上的陣列。它配備了可調節變焦的高分辨率光學系統，允許自動聚焦和放大20倍。步進器能夠進行恒定的軌跡掃描和多次曝光。這樣可以確保所產生的陣列在尺寸變化較小的芯片之間精確復制。它還允許更快的處理時間,並且不需要昂貴的調整或昂貴的重工。ULTRATECH 1500 WAS具有高度可調性，其高速邏輯架構可針對粗細運動進行調節。它的數據輸入體系結構是自動化的,允許更快、更準確的數據輸入以提高流程吞吐量。這種先進的步進器以納米級的精度掃描模式數據，產生了優越的工藝性能。1500 WAS還擁有先進的冷卻裝置，保持晶圓加工所需的最佳溫度。該機還配備了隔振平臺，為用戶提供低噪聲的工藝環境。此工具還包含高級診斷工具,用於診斷過程中遇到的任何問題。ULTRATECH 1500 WAS能夠在各種集成工藝選項中運行,包括光刻、硬蝕刻和晶圓檢查。它還能夠集成其他工藝技術，如跳線粘合和各種光刻前端設備。這些集成工藝選項及其高級功能使1500 WAS成為高端半導體集成工藝的理想解決方案。
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