二手 ULTRATECH 1500 WAS #9302572 待售

ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper是一種先進的工具，用於生成具有非常精確的特征的光掩模，用於光刻應用。此工具可產生15-150 nm的特性,非常適合半導體器件工藝。它由幾個不同的子系統組成，包括掃描儀、步進電機、標線級和軟件。掃描儀充當輸入裝置和鏡頭系統，並充當步進器的光源。其精密光學利用紫外線輻射為晶片提供均勻的光斑大小，並且可調節以節省能量，同時仍為每個工藝步驟提供必要的紫外線。此外,掃描儀可以掃描最大尺寸為2.25英寸平方英尺的標線,並且可以調整以滿足公差要求。步進電機是一種可提供位置精度和重復性的直接驅動步進電機。它配有慣性電動機，在移動標線級的同時保證平滑、無振動的性能。標線級將晶片固定在適當的位置,而步進電機以小至1/10毫米的增量移動晶片。接下來,1500 WAS Wafer Stepper利用高級軟件包控制過程中每個步驟的步進和光照級別。該軟件包旨在最大限度地提高流程效率，減少總周期時間。它允許操作員選擇各種創建光掩碼的過程，從均勻的4倍還原到非常有限的聚焦範圍。此外,軟件可以自動設置和執行流程,從而無需手動調整設置。最後,ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper提供了高度的可靠性、準確性和可重復性。其慣性電動機系統抑制運動，而直接驅動步進電動機則確保了標線的安全定位。此外，其精密的紫外線光學器件在整個過程中為晶圓提供了一致的光斑尺寸。此外,1500 WAS Wafer Stepper易於集成到現有半導體工藝中,以最大限度地提高效率。總之，ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper是一種先進的工具，能夠產生高重復性的精確光掩模。它的慣性和直接驅動步進電機確保精確的標線定位，而其精密的紫外線光學器件提供了一個統一的光斑尺寸的過程。此外，1500 WAS Wafer Stepper易於集成到現有的半導體工藝中，使其成為光刻應用的絕佳選擇。