二手 ULTRATECH 1500 #293597692 待售

ULTRATECH 1500晶圓步進器是一種用於制造先進微電子器件的精密對準和成像設備。它提供了基板的精確對齊,並在串聯和批量配置中工作。1500利用不同的機制，使基板在對準和成像過程中保持靜止。此功能允許它隨著時間的推移保持位置精度,並為每個任務提供一致的結果。憑借其內置的電動z軸，ULTRATECH 1500可以為圖案提供可重復和精確的曝光層。其自動回流曝光控制系統（RECS）確保曝光結果符合行業標準。該單元還具有雙視圖功能,允許從基板的頂部和底部查看操作。此外,1500支持範圍廣泛的晶圓尺寸,從200毫米到500毫米。其集成的高精度主軸驅動機器,無論基板尺寸和材料如何,都能實現精確的對齊,達到所需的掩蔽層。該機還配備了集成高速自動對焦攝像頭，使其能夠檢測到小於0.0005毫米的平面外厚度。ULTRATECH 1500采用低功率激光光源計量，也能夠集成原位粒子檢測。該工具還具有多層晶圓檢驗資產（MLWIS）。1500附帶了一個用戶友好的圖形界面，提供了一個直觀的方法來控制模型的各種參數和監控結果。這使用戶能夠快速設置設備並獲得有價值的測試見解。系統設置完成後,可以將數據直接導出到數據庫,以供以後查看。總體而言，ULTRATECH 1500晶片步進器是一種功能強大且用途廣泛的工具，可滿足先進微電子器件生產的苛刻需求。其精確的對齊和成像功能,加上其自動化功能,為各種應用程序提供了可靠而高效的解決方案。