二手 ULTRATECH 1500 #9018358 待售

ULTRATECH 1500是一款具有專利旋轉掃描曝光系統的先進生產規模晶圓步進器。它提供高效掃描能力，結合高分辨率成像，用於微電子生產。1500以其緊湊、可靠的設計,為曝光多層光掩模或晶片提供了卓越的性能,並獲得了可重復的結果。ULTRATECH 1500具有由四個晶圓步進臂組成的集成集群,每個臂都有兩個獨立的曝光系統。這組步進器由精確的線性和旋轉執行器驅動，提供精確和可重復的對準。其線性和旋轉執行器還能實現高精度同步和無縫運動，從而獨立控制掃描狹縫和晶圓。1500能夠產生尺寸不超過36 μ m （0.0014「）的精密圖像,精密圖像放置精度為15 μ m （0.0006」）。ULTRATECH 1500包括一個獨特的圖像處理模塊,可使用最新的行業算法實現自動圖像定位、配準和曝光優化。此模塊提供了市場上最高的速度和準確性,每小時最多可曝光40000次。其中一些制作能力包括1：1的比例曝光，以獲得更精細的細節；多次暴露以獲得更大深度；晶圓鏡頭的精確圖像移位；和自動圖像掩蔽。此外,1500還具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和觸摸屏控件以及視覺引導功能。這種直觀、易於使用的GUI使用戶能夠通過簡單的調整和最小的錯誤來編程曝光。ULTRATECH 1500還包括用戶定義的曝光參數管理，包括掃描方向、圖像數量、次曝光圖像、現場曝光功率和劑量。1500適用於廣泛的應用,特別是復雜的微電子生產過程。它提供了無與倫比的精確度和精確度,使其成為任何生產環境的寶貴工具。