二手 ULTRATECH 1500 #9019176 待售

ULTRATECH 1500是一種晶圓步進器，用於製造半導體器件，例如電腦晶片。它是為亞微米範圍內的一步光刻設計的專用設備。1500晶圓步進器利用聚焦和高能紫外線，由專門的激光電弧系統產生。這種UV光被用來暴露已經被自旋鑄造到晶圓表面的光刻膠層。然後可以將晶片浸入化學顯影劑中，有選擇地揭示在光致抗蝕層中形成的微結構。ULTRATECH 1500晶片步進器包括對準、陣列、叠加監控、焦點對準和粒子控制。它還有一個上層，包括激光頭旋轉器和居中機構。旋轉器允許激光器在x、y和z軸中移動，從而在最終微觀結構的特征中獲得更好的分辨率和放置精度。定心機構確保激光與晶圓精確對準。該單元還包括一個光源，可以是燈，也可以是激光，這取決於項目的需要。光源耦合到一個集合光柵機，它允許光被分成兩束，然後在步進器的曝光區域收斂。這保持了在基板上放置特征的高精度。步進器中還包括高級成像工具。這包括一個CCD照相機，在曝光之前、期間和之後拍攝每一個微觀結構的圖像。然後可以將這些圖像與校準框架進行比較，以確保準確性和質量；可用於測量每個特征的大小和形狀。1500晶圓步進器的其他特性包括一種粒子控制資產，它可以清除空氣中的汙染物，從而消除光刻膠和特性的汙染。通過使用OLP（光學低通濾波器），步進器還能夠補償因能量強度降低而造成的失真，這可能導致有害的曝光偽影。最後，步進器還包括一個高精度的晶片處理模型，它提供了晶片在圖樣上快速精確的定位。所有這些特性使得ULTRATECH 1500成為微芯片生產的絕佳選擇。