二手 ULTRATECH 1500 #9050208 待售

ULTRATECH 1500是一種晶圓步進器，為精密掩模光刻、直寫光刻、激光退火等相關應用提供精確、大視野和先進能力。1500具有高分辨率、數字成像能力和允許+-35°傾斜的高度可調級,是各種光刻工藝的高度精確可靠的工具。獨特的是,ULTRATECH 1500配備了兩個獨立的光學組件,可以在生產過程中進行交換,從而允許在操作之間進行快速更改,而無需增加生產時間或成本。可用的兩個光學組件是象限炮塔和特殊元件。Quadrant Turret具有很長的工作距離,它提供45°的角度範圍,非常適合需要精確放置和對齊大臺階或多個對象或圖案的項目。Special Element光學組件具有較短的工作距離,可配置用於可變衍射光柵、動態陣列以及用於大批量生產的快速寫入。1500具有可編程的高級電機驅動系統,能夠產生精確的線性運動,以實現精確和高精度的多元素模式。憑借其專利曝光控制系統，ULTRATECH 1500能夠在廣泛的條件下實現高吞吐量和卓越的圖像重復性。此外,它還集成了基於攝像頭的復雜系統,可實現高分辨率成像和卓越的定制選項。除了硬件功能外,1500軟件還允許對其設置參數進行高級監視和控制。這與專用的網絡功能相結合,使操作員能夠通過快速訪問數據、進行調整和遠程控制工具功能來減少停機時間並提高生產效率。除了高級特性和功能外,ULTRATECH 1500還包括一系列專門為保護工具免受損壞而設計的高級安全功能。這些功能包括：在發生錯誤或緊急情況時具有警報通知的自動關機功能；對關鍵組件進行溫度監控,以及在停電時自動關閉電源。總的來說,1500是一種超精確的高分辨率晶片步進器,它提供了令人印象深刻的一系列特性和功能,非常適合於高分辨率掩模光刻、直接寫入光刻、激光退火和其他相關工藝。