二手 ULTRATECH 1500 #9098742 待售
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ULTRATECH 1500晶圓步進器(Wafer Stepper)是一種高精度、電腦控制的機器,用來在晶圓表面列印、檢查和暴露集成電路元件。這臺機器的印刷精確度遠遠超出了常規設置的限制,可以非常精確地放置電路元件。1500利用高功率源(如準分子激光器)選擇性地曝光小至0.1微米的特征大小。它具有一個編碼穩定的2軸級,可大大減少步進誤差,以及一個專門設計的用於控制激光聚焦的高分辨率Z級。步進器的軟件包允許精確控制打印過程,並包括復雜的對齊和編輯功能。它包括一個精確的自動對焦機構,允許激光光束在晶圓表面上自動聚焦到+/-0.01微米的精度。ULTRATECH 1500最顯著的特點是其獨特的影像中心設備。該系統結合了MEMS系統和先進的激光光學器件,將每個圖像精確地集中在晶圓上,不需要手動定心。1500設計為與ULTRATECH多功能處理單元(VPS)配合工作,可靈活放置多層印刷電路。這臺機器允許整合幾種不同類型的自動化表面處理系統,包括蝕刻、濺射和離子植入。ULTRATECH 1500專為重複精度而設計,非常適合量產。其驚人的速度和準確性使其成為需要大量吞吐量的高精度應用程序的理想選擇。此外,1500還配備了一個自我診斷工具,可以在需要調整或校準時檢測並提示操作員。總體而言,ULTRATECH 1500是一種先進的晶圓步進器,旨在提供高度精確、精確和可靠的結果。它有多種尺寸、配置和價位,是半導體生產的理想解決方案。
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