二手 ULTRATECH 1500 #9098746 待售

ULTRATECH 1500是一種高性能、先進的晶圓步進設備,可幫助制造商生產產量更高的精密微型設備。它是晶圓制造設備的行業標準，用於生產集成電路器件、MEMS、薄膜以及其他微電子元件。1500系統具有高達20英寸乘20英寸的大曝光區域和高精度對準級,允許高達1微米的對準精度。該單元可選擇248nm至384nm的KrF或ArF光刻源。它還采用了WSCAN技術，提供一致的分辨率、無與倫比的模式均勻性和廣泛的照明選項。ULTRATECH 1500還利用了最新的自動化工具,包括計算機控制的晶圓處理機和自動聚焦監視器。對於薄膜和其他基板，它的自動晶片保護器確保精確的放置，即使在存在顯著的高度變化。此外,1500工具利用最新的成像技術,包括高分辨率CCD攝像機和專有的圖像增強算法來處理圖像以進行檢查或抵抗開發。它還具有內置的計量資產，能夠測量薄膜厚度和定位缺陷。最後,ULTRATECH 1500是一種可靠的型號,它具有一系列出色的安全功能,可保護操作員和環境免受危害。這些功能包括當系統檢測到異常高溫、漏光或任何其他危險情況時自動關閉設備。總的來說，1500是一個先進的晶圓步進單元，為制造商提供可靠、準確和精確的結果。憑借其廣闊的曝光面積和一系列的自動化功能，它是業界生產產量更高的微型設備最有能力和最可靠的機器。