二手 ULTRATECH 1500 #9098751 待售

ULTRATECH 1500是ULTRATECH Inc制造的高精度晶圓步進器。它是現代半導體制造過程中光刻系統的重要組成部分。它通過包括光源、光學、舞臺掃描和探測器在內的一系列步驟，將在光掩模上生成的圖樣精確傳輸到半導體基板上。1500是為了滿足亞微米模式和叠加能力的嚴格要求而設計的。它基於線性電動機設計，為步進操作提供了卓越的運動控制，為高速模式設計提供了出色的線性。ULTRATECH 1500配備了光機系統，在曝光過程中優化模式傳遞精度和穩定性。它采用先進的微透鏡陣列設計，具有較高的數值孔徑，使其能夠將光聚焦在狹窄的線條和小的特征上，精度很高。1500還通過提高現場均勻性和快速掃描速度提供了高生產率。它采用獨特的光學設計,可減少幾何失真和光學像差,以確保清晰和銳利的圖案邊緣。此外,其先進的控制系統有助於確保在整個步進曝光周期中出色的圖像質量、圖案均勻性和叠加控制。ULTRATECH 1500采用增強的用戶友好功能,例如板載軟件,允許用戶遠程控制步進器操作,而無需任何物理界面。這一特性使其非常適合臨界光刻應用，縮短了設置時間。此外,內置的電機控制單元可實現更好的電機控制,從而實現更快、更平滑、更精確的性能。通過充分利用激光幹涉對準等先進功能，1500可以提供精確、可重復的納米尺度圖案。ULTRATECH 1500是半導體晶圓光刻的絕佳選擇。它具有高精度的舞臺性能和先進的光學設計，是生產高質量、高性價比的晶圓光刻產品的寶貴工具。