二手 ULTRATECH 1500 #9098755 待售

ULTRATECH 1500是由半導體設備和工藝控制解決方案行業領先者ULTRATECH開發的頂級晶圓步進器。步進器采用專有的兩步工藝，旨在實現先進半導體器件結構的快速、精確的平版印刷模式。1500還包括一系列高級功能,使設備制造更輕松、更高效。ULTRATECH 1500的兩步過程始於在晶圓上加入石英標線。標線中包含一個主圖樣，通過將晶圓暴露在紫外線下轉換成一個子圖樣陣列。紫外線通過石英光學遮罩，擴大了圖案尺寸的範圍。該過程的第二步是通過幹式或濕式蝕刻將圖樣轉移到晶片上，或者設備的直接寫入操作，借助多個聚焦離子束陣列實現高分辨率圖樣。1500還具有多種其他高級功能,例如全範圍真空動力學索引器（VKI）,可提高運動範圍和精度。此外，步進器還有一個板載校準模塊，用於測量光路（聚焦、像差），並為優化光刻提供高分辨率的實時反饋。ULTRATECH 1500不可或缺的安全功能包括紫外線安全互鎖、自動釋放功能以及疏散/空中提供的安全模塊。此外,其符合人體工程學的設計提供了改進的操作員體驗,集成了觸摸屏界面,簡化了產品的設置和操作。總而言之，1500是一種先進的高精度晶圓步進器，用於制造復雜的半導體器件。其專有的兩步過程最大限度地減少了曝光時間,並允許精確的平版印刷模式<em>、</em>,而其一系列高級功能為用戶提供了改進的操作員體驗,並提高了效率和安全性。