二手 ULTRATECH 1500 #9098757 待售
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ULTRATECH 1500是ULTRATECH開發的頂級、最先進的晶圓步進器。1500晶圓步進器具有高分辨率的5軸對準設備,可提供無與倫比的精度和控制-即使在納米級分辨率下也是如此。這個先進的系統非常適合在微電子和光刻領域的應用。ULTRATECH 1500最大XY行程接近450毫米,其Z軸可調節至30毫米。步進器還具有內置的CCD光學剖面儀,可對晶片表面進行精確成像,用於要求最苛刻的應用。1500可用於將光刻圖樣精確地蝕刻到半導體晶片上。步進器的5軸對齊單元可確保在晶片表面上正確傳輸和蝕刻陣列的精細細節。ULTRATECH 1500高度可靠,具有閉環位置反饋和保護外殼等功能。此外,1500對於用戶來說非常容易設置,它可以集成到任何現有的自動化機器中。ULTRATECH 1500的成像能力令人印象深刻,因為它既可用於反射成像,也可用於透射成像。這樣可以在不同的映像任務之間實現簡單和快速切換。步進器也有廣泛的成像光學選擇,從傳統光學到先進光學,如移相器。此外,1500還配備了一套廣泛的診斷工具,以確保晶圓正確暴露在正確的紫外線照射下。總體而言,ULTRATECH 1500是微電子專業人士必備的尖端步進器。它旨在提供最大的準確性和控制,以及廣泛的成像和對準功能。1500是現有最可靠的晶圓步進器之一,是各種高精度微電子和光刻任務的理想選擇。
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