二手 ULTRATECH 1500 #9098777 待售

ULTRATECH 1500晶圓步進器是為半導體制造應用而設計的高效、高精度的機器。憑借其先進的光學和成像技術，能夠以0.5米的精度和可重復性生產高分辨率μ光掩模和晶圓光刻。這臺機器提供多種特性和功能，如6英寸運動舞臺、多軸電機和鏡頭驅動設備、自動對準系統以及集成的框架和舞臺裝配。所有這些功能都大大減少了定位錯誤、更改掩碼所需的時間以及其他設置操作。為了進一步提高其精度，1500配備了一個2D激光自動聚焦單元，確保每個晶片在光束通過時聚焦在光束上。此外，步進器還擁有一臺獲得專利的高分辨率暗場成像機，能夠準確捕捉晶圓表面的地形。這有助於降低條紋的風險,並允許用戶快速定位曲面和定位目標位置,而無需標線。ULTRATECH 1500具有低失真光學器件和先進且用途廣泛的光源，可用於進行多種光刻操作。機器還配備了晶圓運輸和加工的集成工具，確保每一個晶圓都能準確、均勻地暴露出來。最後,1500擁有一個用戶友好的界面,使操作員能夠快速輕松地對資產進行編程和監控。這種先進的晶圓步進器具有很高的可靠性、靈活性和準確性，為用戶提供了針對最苛刻的半導體應用的廣泛功能。