二手 ULTRATECH 1500 #9098778 待售

ULTRATECH 1500
製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9098778
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Stepper, 6" Currently de-installed 1998 vintage.
ULTRATECH 1500是半導體工業中為高通量光刻要求而開發的晶圓步進器。該步進器利用最新的接觸對齊技術,以可重復的精度和均勻性產生高分辨率圖像。其先進的分辨率能力使制造商能夠實現更小的線寬和更緊密的對齊公差。1500的對齊器技術使用戶能夠快速輕松地將晶片從其原生位置移動到對齊機器人上的指定起點。此晶片步進器還具有高分辨率幹涉模式識別設備,可確保所有對準目標均具有一致的精度。其快速且易於調節的步長大小使用戶能夠準確地跨過多個字段,而不會犧牲準確性。此外,其靈活的舞臺和電機配置允許水平、垂直和旋轉運動。這使用戶能夠在單個機器周期內掃描整個晶片表面。此外,此步進器還提供高級陣列功能,允許用戶使用簡單的運動命令生成高度復雜的平版印刷圖案。ULTRATECH 1500還為用戶提供了更好的靈活性和方便的易互換部件。它的模塊化設計和可編程控制單元使工程師能夠輕松定制系統以滿足他們的應用需求。此外,用戶界面還提供了易於使用的直觀圖形界面,並允許快速、無錯誤的設置和操作。此外,1500采用了先進的濕蝕刻技術,可確保高長寬比設計。這允許更大的模式靈活性和改進的過程控制。使用升級的光學單元,步進器能夠達到0.7微米的最大分辨率,以提高模式保真度。這臺機器還提供了先進的模式驗證技術,可以在開始制造過程之前檢測和標記潛在的錯誤。總體而言,ULTRATECH 1500是一款先進的晶圓步進器,旨在確保高通量光刻技術和卓越的通用性。其先進的特性和先進的濕蝕刻技術使用戶能夠獲得最高精度和錯綜復雜的圖案。
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