二手 ULTRATECH 1500 #9174373 待售

ULTRATECH 1500是芯片制造中使用的最先進的晶圓步進器。它用於將圖樣從光掩模傳輸到晶圓，以及在光刻過程中執行其他與曝光和蝕刻相關的步驟。1500提供0.25mm/秒至250 mm/秒的寬掃描速度範圍，是高吞吐量和短曝光時間的理想選擇。每次掃描都由提供精確和可重復定位的微型步進電機以及420mm x 485mm的大工作區域控制。該掃描儀還有一個自動晶片對準系統，以確保晶片在機器上的準確放置，以及一個自動晶片處理系統，方便在步驟之間移動晶片。該單元包括高級對準和校正功能，以確保高精度，這對於臨界曝光和光刻工藝至關重要。掃描線調整和預設軟件算法等高級校正功能使機器能夠自我校準和微調參數以獲得最佳性能。ULTRATECH 1500還提供高級背面成像功能,包括原位平整度、對齊和曝光平移。1500高效、可靠、用戶友好,其先進的功能確保了快速的周轉時間和高產率。它還配備了惰性環境和氮氣清除外殼,以保護敏感部件免受灰塵、化學物質和其他碎片的侵害。總體而言,ULTRATECH 1500是一種頂級的晶圓步進器,可提供最先進的特性和性能。其強大的設計、先進的功能和可靠的操作使其成為芯片制造的理想選擇，尤其是在時間和精度是重中之重的情況下。