二手 ULTRATECH 1500 #9182694 待售

ULTRATECH 1500是一種下一代晶圓步進器，專為優化集成電路（IC）制造基板加工的精度、吞吐量和復雜性而設計。該設備利用高級動態運動控制來精確掃描、對齊和聚焦基板上的地形,以減少最終晶圓上的缺陷級別。它配備了一個6軸動態調諧空氣軸承，用於精確聚焦和運動控制，能夠在2µm左右的模式放置精度，分辨率為1µm或更高。該裝置設計用於推進半導體的發展，其精密步進電機和一套全面的成像、圖樣和光刻能力。它使用自動掃描功能快速檢測和解決晶圓缺陷，確保了晶圓精度的高水平。馬達以250毫米/秒的最高速度工作,以達到最大吞吐量。為方便快速進入步進器，1500還配備了大型自動化裝卸系統。ULTRATECH 1500設計具有各種用戶友好的功能,如自動晶圓對準和自動教學,允許輕松操作和大大縮短設置時間。其超高速分選功能可以分類處理微缺陷和多邊形模式，同時提供最大吞吐量。模式庫使用戶能夠快速準確地生成自定義模式。該裝置還設計用於最高級別的基板分區、質量控制和均勻性。它配備了先進的光學短波對準系統、可定制的圖像參數化，以及獲得專利的曝光測量系統（EMS），以測量具有廣泛曝光水平的臨界曝光過程。此外，1500配備了冗余方案，以確保最高的晶圓調度效率。最後,ULTRATECH 1500是一種高級晶圓步進器,旨在在半導體開發中提供最大精度、吞吐量和復雜性。其精確的運動控制、圖像參數化、圖案庫和優化的基板分區，使得IC制造的精度和質量控制水平得以提高。