二手 ULTRATECH 1500 #9188727 待售

ULTRATECH 1500是一款高性能晶圓步進器，提供卓越的成像性能和生產力。這種自動化機器是為在半導體晶片上制造集成電路（IC）器件而設計的。它具有集成的電機驅動設備,能夠精確控制圖像步進和定心。1500能夠支撐6到12英寸的不同晶圓尺寸。它旨在在低和高水平的圖像功耗下提供卓越的反向圖像保真度。由於采用了先進的技術,ULTRATECH 1500可以實現更快的吞吐量和更好的光學性能。1500包括兩個主要組件：成像站和高精度級。Imaging Station包含一個源和投影系統，包括一個連續波激光二極管、一個大功率光束擴展器、一個高NA投影透鏡和一個自動對焦單元。該成像機能夠提供20納米的卓越空間分辨率。高精度級負責精確定位晶片,以確保正確的圖像對齊和覆蓋。ULTRATECH 1500還配備了用於精確放置晶圓的高級CCD攝像頭，以及允許晶圓級精確和可重復運動的兩軸運動控制工具。為了進一步提高流程穩定性和可重復性,1500配備了集成的計算機資產和軟件,允許用戶對曝光模式、圖像序列和圖像參數進行編程。成像模型還有一個內置的計量設備，用於晶圓的檢查和分析。ULTRATECH 1500提供卓越的性能,旨在滿足IC制造商的高需求。它具有強大的設計、高吞吐量和卓越的圖像質量,非常適合先進的半導體器件制造工藝。