二手 ULTRATECH 1500 #9195910 待售

ULTRATECH 1500是專門為半導體制造中的光刻應用而設計的晶圓步進器。該設備能夠在直徑達200毫米的晶片上產生高分辨率圖樣，從而能夠生產更大的集成電路。1500步長僅為3微米,能夠以極高的精度和精確度生成復雜的圖樣和幾何形狀,從而產生納米級特征。此外,系統還提供高達5：1的降低速率,使用戶能夠生成極小的模式,其特性小於1微米。ULTRATECH 1500利用10：1的光學變焦單元，達到最高的曝光精度和精度水平。這與激光幹涉測量相結合，檢測所有六個自由度的元件位置，意味著所有特征都可以對齊並正確定位在晶圓上。該機還采用了雙自動對焦工具，提高了對準定位的效率。1500利用先進的數字電子和先進的軟件解決方案，使用戶能夠制作高效、定制的曝光程序。這些程序為用戶提供了精確控制每個晶片參數的能力，如曝光力、速度和焦點。此外,該軟件還為用戶提供批處理功能,從而節省了時間和金錢。ULTRATECH 1500被設計為高度可靠和穩定,確保在整個機器使用壽命期間的性能一致。所有資產的組件和功能都是為了提供最大的正常運行時間和不間斷的操作而構建的。此外,模型對每個周期執行自我診斷,使其能夠在曝光前檢測到任何可能的問題。最後,1500是為高效操作和易維護而量身定制的。該設備集成了一個機器人晶片處理系統，簡化了裝卸，而自動環境控制確保設備保持在最佳性能參數之內。此外,該機器還帶有服務指示,告知技術人員任何即將到來的維護需求。