二手 ULTRATECH 1500 #9244164 待售

ULTRATECH 1500是一種晶圓步進器，專為提供高精度光刻技術，用於生產半導體芯片和其他錯綜復雜的電子元件而設計。這款先進的設備采用激光供電的虹膜，為各種基板上非常微小的電路提供最精確的對準和成像。其獨特的特性使其能夠以極高的精度處理晶片，同時也減少了暴露晶片所需的時間。1500具有5軸級和最先進的光學設備,可精確對準精確曝光。這種設備在單個晶片上產生多次曝光，並具有最小的錯位氛圍和最小的屈服損失。此外,ULTRATECH 1500可產生各種電路尺寸和模式,精度± 0.25 µm。1500還能夠容納10種不同的晶圓尺寸，使其用途廣泛，效率極高。該系統還配備了先進的計算機控制軟件，可以對多達500種不同的源模式進行編程，進行預編程，以進行超精確的模式曝光。此外,ULTRATECH 1500還集成了智能晶圓ID識別單元,可快速準確地識別晶圓。1500配備了前沿成像能力，可以創造低至0.4 µm的線條。這種晶片步進器還具有獨特的激光聚焦點控制功能，使其能夠在曝光過程中調整焦點以獲得絕對精度。ULTRATECH 1500還有一臺自動激光功率控制機，將激光功率保持在預編程水平，使曝光始終準確，即使在處理多個晶圓時也是如此。總之，1500晶片步進器是處理復雜、微小的電路模式的理想方法，精度高，收率損失最小。其5軸級、激光功率控制、智能晶片ID識別、可調焦點控制等獨特特點，保證了高度精確、可重復的光刻。