二手 ULTRATECH 1500 #9244742 待售

ULTRATECH 1500是一款全封閉式晶圓步進設備，具有獨特設計的機械系統，提供穩定準確的性能。該裝置能夠處理尺寸從1英寸（25毫米）到4英寸（100毫米）的基材，並設計用於運行包括氧氣、氫氣和氮氣在內的一系列加工氣體。其創新的設計具有獨特的次秒定位精度，使得芯片與基板的對準變得簡單一致。機器的主要部件包括一個多軸掃描平臺和一個由交流電動機和直接驅動（無齒輪）線性執行器組成的線性驅動子系統。這種布置允許平穩、準確和快速的操作，頂端速度為600mm/s，低加速度為4G。通過所有軸上的閉環編碼器反饋進一步提高了工具的準確性，使資產能夠準確地復制運動。該平臺由先進的軟件驅動，確保設備與基板的精確、自動對齊以及配方的高效執行。該模型還具有自動晶片加載和處理的可選自動化軟件包,從而無需操作員手動加載晶片。作為晶圓步進設備，1500還提供了集成原位供氣系統的選項，允許在飛行中進行氣體凈化、排氣和加壓，以及用於故障分析的原位激光燒蝕。再者，該單元可以配備集成的、先進的RTIP（實時成像處理器），以便進行離線檢查和分期分析。ULTRATECH 1500是滿足各種晶圓處理要求的理想機器。其最先進的設計和先進的功能確保了可靠的吞吐量和高質量的產品。此工具非常適合用於研究、小規模生產甚至原型設計,以具有競爭力的成本提供卓越的質量。