二手 ULTRATECH 1500 #9249624 待售

ULTRATECH 1500晶片步進器（Wafer Stepper）是一種精密的機動設備，用於定位和操縱多種基材晶片。該晶片步進器設計用於在工藝模塊之間精確移動晶片，如預對準器、掃描儀、清潔器、染色系統、自旋塗層和光敏塗層。1500晶片步進器具有獨特的X-Y軸控制系統，允許在X-Y平面中精確一致地操縱晶片。步進器能夠定位精度為12 µm的晶片，以及在廣泛的溫度和單位壓力下運作。ULTRATECH 1500 Wafer Stepper配備了包括微處理器控制器和內置控制邏輯的固態驅動器機。這允許對兩個X-Y軸電機進行獨立控制而不會漂移，從而允許可靠和精確的晶圓操作。控制邏輯還包括諸如在刀具連接點自動啟動/停止和刀具丟棄等功能。步進器還包括一個內置的反饋工具，當從一個位置過渡到下一個位置時，它提供快速響應和高精度。為了最好地滿足廣泛的工藝要求,1500 Wafer Stepper配備了一系列接口選項。其中包括自動化ULTRATECH驅動技術、兩種不同類型的晶圓處理系統以及各種外部I/O和通信端口。此外，資產還可以配備許多軟件包，使用戶能夠精確控制和調整電機速度。此功能還允許在操作過程中實時調整速度。ULTRATECH 1500晶圓步進器由不銹鋼制成，具有優異的耐用性和耐腐蝕性。步進器還包括精確壓力傳感器、溫度傳感器、過載保護等多項安全功能。與市場上價格相似的晶圓步進器相比,1500晶圓步進器最終提供了卓越的性能、可靠性和控制能力。