二手 ULTRATECH 1500 #9269962 待售

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ULTRATECH 1500
已售出
製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9269962
晶圓大小: 6"
Stepper, 6".
ULTRATECH 1500晶片步進器是一種先進的半導體光刻設備,設計用於制造半導體晶片上的高精度元件。這種最先進的設備結合了先進的光學投影和高分辨率的掩蔽系統,以卓越的精度和高通量成像和產生錯綜復雜的圖案。1500利用四個高分辨率成像系統,根據各種應用要求創建不同的投影目標。這個單元可以處理直徑可達12英寸的晶片,並以極高的精度將線寬降低到0.5微米。此外,ULTRATECH 1500設計用於晶片到晶片的註冊,從而消除了運行到運行的註冊錯誤。1500有一臺大容量、自動曝光機,配備x、y級和兩臺電機,用於旋轉和高度調節。這樣可以實現晶圓移動的完全自動化,從而提高吞吐量並縮短曝光時間。此外,ULTRATECH 1500具有先進的標本級精度校準和測試工具,因此可以快速調整到半導體晶片中的不規則性。1500能夠處理多種圖像格式,如多層、正向和負向模具、二進制文件格式、基於密度的打印以及預定義的形狀。它還允許各種圖像處理功能,如鏡像、縮放、排列、光學變焦和圖像旋轉。ULTRATECH 1500的曝光資產配備了8通道俯仰控制、高輸出光源以及用於執行低層調整的集成裝飾模塊。它還支持各種曝光時間和階段的單一和多重曝光模式。總的來說,1500是一個可靠和準確的工具,以創造高質量的半導體元件具有卓越的精度和可靠性。此型號的高級特性和高吞吐量使其成為各種應用程序的理想選擇。
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