二手 ULTRATECH 1500 #9303089 待售
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ULTRATECH 1500是一種功能強大且高度精確的晶圓步進器,用於半導體生產。它被設計成通過將晶片暴露在光源上,從而在晶片表面上產生圖案,以極高的速度和精度精確地加工晶片。它可以用於制造完全集成的電路,在同一過程中具有高精度和復雜性。1500由步進平臺和光刻控制單元組成,連接到步進,將圖像傳送到晶圓上。它包括一個預設的對準設備,允許結構精確對準晶圓,以便產生高度詳細和準確的模式。它還帶有焦點和步進對齊器,這樣模式的焦點和大小是準確的。對準精度優於0.1微米,圖案尺寸精度可優於0.5微米。這使用戶能夠輕松創建復雜而小的電子電路。ULTRATECH 1500配備了超高分辨率穩定光學系統,有助於最大限度地減少由於晶圓地形和熱效應造成的失真。光學單元可以將晶片曝光到10-20 mJ/cm2的能量,這比競爭激烈的設備要大得多。晶片步進器還具有自動停止和曝光控制功能,可確保步進器不會過度曝光或損壞晶片。1500在維修保養程序方面也非常先進。它需要最少的人工幹預,使制造商能夠提高生產效率並減少停機時間。它配備了自動故障檢測等先進的維護功能,配有維護指令和自我診斷,能夠快速準確地檢測和診斷錯誤。總體而言,ULTRATECH 1500是一種功能強大且高度先進的晶片步進器,能夠以驚人的速度和精度處理晶片,幫助制造商生產高精度和復雜的集成電路。它具有超高分辨率光學機器、自動停止和曝光控制、先進的修理和維護程序以及自我診斷系統等一系列功能,可以幫助提高晶圓的生產效率。
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