二手 ULTRATECH 1500 #9390404 待售

ULTRATECH 1500晶圓步進器（Wafer Stepper）是半導體工業中使用的一種機器，用於在敏感晶圓上將圖樣從光掩模或標線精確地傳輸到IC的矩陣。這是一臺先進的多層機器，內置步進控制系統，石英照明，穩定的X/Y還原掃描儀。1500具有在兩個遮罩層上具有0.25微米特征的圖像功能。ULTRATECH 1500利用帶有準直鏡的石英燈確保晶圓的精確曝光。對光源進行校準，使其與光掩模芯片陣列的精確尺寸和IC的特征尺寸相匹配。標線被放置在步進器中，晶片被送入步進器中，然後在石英燈投射到下面的同時進行掃描。掃描完成後，晶圓就可以進一步蝕刻和金屬化形成電路。1500的步進控制系統可以配置為盡可能最快的生產速度,最大限度地減少產品產量損失並確保IC的準確放置。它帶有一組復雜的可編程命令來自動執行步進器的操作以實現可重復的結果。照明和準直器組合提供亞微米精度和可重復性，而噪聲抑制消除振動誤差。這樣可以確保最高級的定位和線寬控制。ULTRATECH 1500是一種多用途的設備，適用於多種生產過程，如印刷、蝕刻和金屬化。它具有用於簡化編程和操作的直觀用戶界面。步進器可以很容易地進行調整，以獲得更高或更低的放大倍率和精確的光掩模標線成像。1500配有輔助輔助配件、內置對準標記和凸輪傳感器,可提高對準精度和可重復性。ULTRATECH 1500穩定、可靠、準確，在半導體生產行業中作為強大的器件脫穎而出。綜上所述，它是一種有效的晶圓步進器，提供卓越的還原成像、準確且可重復的光掩模圖樣傳輸，並提高了吞吐量。