二手 ULTRATECH 1500 #9399241 待售
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ULTRATECH 1500是一種用於半導體器件制造的高精度和超精度晶圓步進器。它旨在提供優於晶片的晶片和用於掩蔽配準的晶片,並為當今最復雜的微芯片設計提供卓越的光學覆蓋精度和穩定性。1500通過采用先進光學、運動控制、運動力學和軟件技術的獨特組合，實現了先進設備制造所需的高精度和超精度。先進的光學器件包括一個錨定光柵級，通過使用獲得專利的離軸成像設備，實現高精度、可重復的基板定位和連續、依賴於曲率的圖像校正。該系統還采用了集成的自動聚焦和自動校正功能，以保持高晶圓到晶圓和晶圓與不斷變化的基板表面的掩蔽配準精度。ULTRATECH 1500利用最先進的運動控制和力學技術，實現高精度、重復性和速度，同時做出盡可能小的機械運動。這包括使用具有極低摩擦和極低溫度靈敏度的高精度直線電動機,這些電動機可提供高重復性和高速度,以確保最佳吞吐量。步進器還結合了基於專有運動控制算法的高精度雙驅動運動控制單元和一臺高性能伺服電動機機器，能夠實現極其精確和平滑的運動。1500因其獨特的算法和軟件技術組合而與其他晶圓步進器區分開來,從而實現了更高效的模式操作。例如，ULTRATECH 1500包括其內部開發的利用自己的空間濾波技術來減少模式噪聲汙染和量子噪聲影響的高密度模式化軟件，以及在生產過程中將步進器與其他設備同步的專有同步能力。1500還與頂級流程自動化軟件集成，允許用戶支持高端功能控制，提高機器吞吐量，實現在線監控和改進。所有這些高度復雜和高性能的技術都有助於確保一流的項目到項目叠加精度和過程精度。ULTRATECH 1500正在為晶圓步進器設定行業標準。它結合了先進的光學、運動控制和機械技術,以及強大的軟件技術,為用戶提供了高性能、低成本和改進的工藝,以生產當今最復雜的半導體器件。
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