二手 ULTRATECH 2244i Series #293628682 待售

ULTRATECH 2244i系列是為最先進的光刻工藝而設計的最先進的晶圓步進器。它具有高度可靠的全尺寸晶片級，可以處理200毫米的最大晶片尺寸。該系統通過其先進的單軸掃描儀設計提供了卓越的準確性和可重復性。利用0.74 NA投影光學器件，兩級掃描儀提供高分辨率和高速掃描，光束定位精度高達1納米。ULTRATECH 2244i還能夠掃描不同的曝光場大小和曝光時間，使其適合各種光刻工藝。ULTRATECH 2244i還利用其先進的光學器件提供各種掃描模式，包括步進重復、連續線路和區域光柵掃描。它還自動化鏡頭對準、曝光和變焦設置，以幫助確保一致和可重復的結果。該系統采用用戶友好的控制面板,配有10英寸彩色觸摸屏界面,顯示直觀的圖形用戶界面。這允許快速設置大量掃描和曝光參數、批處理和存檔曝光設置。用戶還可以創建曝光配方並將其存儲在掃描儀的庫中。ULTRATECH 2244i還提供了許多流程支持工具,包括多種背面處理模式、自動聚焦識別和對齊精度控制。它與ULTRATECH過程控制軟件完全兼容，提供額外的過程控制和模擬功能。此外,ULTRATECH 2244i還配備了先進的安裝機器人模塊,可實現快速高效的晶圓處理。它還有一個可選的潔凈室，用於有效的汙染物保護系統。總而言之,ULTRATECH 2244i為用戶提供了一個功能強大且準確的光刻工具。