二手 ULTRATECH 2244i #293690209 待售
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ULTRATECH 2244i步進器是一種用於模具和晶圓步進器應用的高度先進的精密光刻工具。它旨在提供快速、準確的晶片和模具對準,同時提供卓越的分辨率、均勻性和可重復性。2244i的掃描速率高達600毫米/秒,可以滿足各種要求苛刻的成像要求。ULTRATECH 2244i設計為實現高水平的圖像保真度,掃描範圍高達10mm,分辨率超過0.5 μ m。其機動化、精密的光學掩模對準設備和分割場對準快速準確地調整了光學器件的焦點和增益,以補償晶圓和掩模幾何形狀的差異。該系統還提供高性能照明控制和各種照明模式,以實現高分辨率成像。2244i采用尖端的先進光機械設計。其高動態範圍ServoPiezo運動控制單元在高精度掃描和成像應用中提供低噪聲操作和快速沈降時間。其可編程、高分辨率級能夠進行亞微米級增量運動控制,該機為快速跳模提供快速步進重復圖像配準。ULTRATECH 2244i適配器允許將200 mm和300 mm半導體晶片快速輕松地加載到工具上。它的通用軟件和高級自動化選項使我們能夠與各種機器人技術和自動化系統集成。該資產還提供了一種優化的大氣,其可編程溫度環境可高達150 °C。2244i消除了對昂貴和耗時的光學調整的需求,為快速和準確的成像提供了一個理想的平臺,具有最大的吞吐量。其無與倫比的圖像精度和均勻性使其成為生產級應用的理想選擇。
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