二手 ULTRATECH 2244i #293761742 待售
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ULTRATECH 2244i是一款最先進的晶圓步進器，專為先進的掩蔽光刻應用而設計。它具有強大可靠的自動化功能,可確保生產過程中的高質量、最快的周期時間和最高的產量。它能夠將4"、5"或6"底物暴露於0.248微米或更好的分辨率，高於當前先進半導體設計所需的0.35微米。該設備采用強大的雙軸電機系統來掃描和移動掩模、晶圓和擴展級。所有這些都由精密加工的金屬皮帶驅動單元驅動。該單元還具有先進的功能，如現場地圖校正機、全自動晶片裝卸、精確的多焦點調制校準工具、具有實時性能監控的直觀用戶界面以及獲得專利的自動缺陷檢測資產。綜合自動化模型旨在提高生產率,同時最大限度地減少因人為錯誤或設備故障造成的中斷。該系統還能夠處理不同的晶圓尺寸、基材和材料。它的可擴展表還允許使用其可選的50%擴展板擴大曝光範圍。此功能還可提高多種配方的容量和更長的遊覽路徑。2244i還有預裝冷卻裝置和高效真空機。電機和掃描儀的設計具有很高的性能和準確性，在非常低的功率要求下運行，以實現高吞吐量。此外,ULTRATECH 2244i還配備了高級工業級光學工具,可確保分辨率、吞吐量和最小的維護。總體而言,2244i是一種先進、高效、高質量的晶圓步進器,為半導體行業的先進光刻工藝提供了最佳的精度和吞吐量。該裝置設計用於精確的接觸模式，並確保生產過程中的最高產量。
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