二手 ULTRATECH 2244i #9182056 待售

ULTRATECH 2244i晶片步進器是一種精密光刻工具，為成像晶片提供無與倫比的精度水平。這種用途廣泛的設備具有一個步進和重復顯微鏡與準分子激光蒙版到晶圓對準和高分辨率成像的精密步進。2244i利用蔡司光學系統、先進的光光設計和專用組件,能夠產生最復雜的圖樣,圖像分辨率低至20 nm。該設備符合所有行業標準,為全天候生產晶圓應用程序提供可靠的操作。ULTRATECH 2244i配置了一個直接驅動的電動掩模級,用於精確和可重復的模式對齊和叠加,以及一個用於晶圓級的精確運動單元,可確保高度自動化和可重復性。該平臺采用直驅式電動機驅動臺式雙對直線運動執行器，能夠實現「彈簧式」操作、快速精度和可重復性的精密運動。此外,還包括「正面」對齊掃描儀,以確保正確的圖像對齊和對準。2244i利用高端光學元件,包括優化成像光學器件、反射器、光圈和冷凝器,以確保卓越的性能和準確性。這臺機器的焦距為160毫米,工作距離為254毫米,可與各種晶圓尺寸和幾何形狀兼容。光學工具配備了一個集成的穩定光路，以確保環境波動的影響最小。包括一個集成的激光對準資產，用於精確對準和覆蓋晶片視網膜上的圖樣，掃描孔徑小至2微米。該型號基於PC、用戶友好的數字控制設備能夠精確調整所有成像參數,包括曝光時間、激光功率和快門速度。這確保了整個基板的卓越圖像保真度和可重復性。總體而言,ULTRATECH 2244i Wafer Stepper是一種先進的光刻工具,專為執行一系列具有精確和可重復性的應用而設計。它的多用途配置非常適合在基板上創建復雜的圖樣，提供精湛的精度和圖像分辨率。