二手 ULTRATECH 2244i #9397143 待售

ULTRATECH 2244i晶片步進器是一種自動化晶片處理設備，設計用於長達6英寸的單晶片處理。步進器利用步進電機技術，允許非常精確和可重復的曝光時間。步進系統還結合了低至5微米的特征大小，分辨率約為0.1微米。該單元的主要部件是：步進引擎、圖像編碼器、晶圓處理程序、聚焦器、準直器和快門。步進引擎由閉環控制機、電動機和電動機驅動器以及編碼器組成，在曝光時間精確定位各級。編碼器註冊圖像位置，這允許非常準確和可重復的曝光時間，而晶圓處理程序可以容納多達200毫米晶圓。聚焦器利用雙軸機構,確保在整個曝光字段中保持一致的聚焦。準直器經過真空冷卻設計，可最大程度地減少圖樣邊緣的有害暴露，並提高圖樣暴露的分辨率。快門采用電子方式操作,旨在確保圖像清晰,並最大程度地減少圖像重叠工件。2244i允許為要求最苛刻的應用程序提供高端、高度精確的電路模式。這種步進器與電子束光刻（EBL）、深紫外線（DUV）、紫外線（UV）、電子束寫入器（EBW）等標準工藝兼容。提供了手動和自動數據處理方法,以及允許嚴格控制步進器配置的軟件。安全功能可同時保護操作員和步進器,例如安全聯鎖、緊急停止以及可聽到的警報和外部計時器。該工具還設計了電源噪聲和幹擾保護，短路保護，以及過溫控制。ULTRATECH 2244i Wafer Stepper是一款設計精良、高性能的單晶圓處理器,專為要求苛刻的應用而設計。資產由於其精密的步進電機驅動級和編碼器，具有高分辨率和精確的曝光時間。它還具有緊急停止和報警等安全功能，為晶圓處理提供了安全可靠的解決方案。該模型的高性能和可靠性使其成為最苛刻的應用程序的理想解決方案。