二手 ULTRATECH 900 #131416 待售

ULTRATECH 900是作為晶圓步進器開發的一種綜合性、模塊化、多場臨界維度計量設備，用於處理廣泛的計量應用。該系統以主流步進市場為目標，對半導體基板圖樣表面層上的照片定義特征進行臨界尺寸（CD）測量。900可用於分析和非分析晶片步進器應用。它具有獨特的高分辨率測量運動單元，能夠快速準確地測量細線特征。它具有三軸配置,包括一個精確旋轉階段、一個淺角度運動階段和一個樣品放置階段,每個階段都可以在兩個軸（x, y）中驅動。樣品放置階段提供了橫跨樣品表面的水平和垂直移動,從而使測試模式對齊,以便以最小的失真進行最佳測量。步進器的設計支持嚴格的計量任務，具有很高的可重復性和準確性。它能夠以納米尺度測量表面輪廓，甚至可以檢測到最小的特征尺寸。快速掃描和樣品掃描模式使機器成為CD測量、非接觸成像、晶圓映射、缺陷檢測等應用的理想選擇。ULTRATECH 900還配備了先進的光學工具。它具有兩個高分辨率成像系統和一個專利光束發夾技術，允許測量高縱橫比特征在同一基板上。資產的高靈敏度允許檢測特征大小非常小的缺陷類型。其他功能包括高速晶圓映射繪圖功能,它可以快速創建整個晶圓的叠加/模式映射,以及用於檢測和識別缺陷的粒子檢查模型。900還使用先進技術對CD測量進行掃描、成像和分析。設備的高級軟件允許多層分析、CD配置文件生成用於叠加/階段校正、並行處理以實現更快的吞吐量以及集成的數據管理系統。它還有一個配準模塊，這樣任何測試模式都可以在同一基板上用於CD測量。總之,ULTRATECH 900是一種先進而全面的晶圓步進器,它為臨界維度（CD）計量提供了一套全面的特性和功能。它能夠進行分析和非分析應用，並在測量中提供高度的準確性和可重復性。該單元還包含先進的光學系統和精密掃描、成像和測量軟件。