二手 ULTRATECH 900 #9233006 待售
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ULTRATECH 900 Wafer Stepper是一種全自動步進設備,設計用於在晶圓表面上以最小的可變性產生可重復的微橋和其他陣列特征。900能夠以9nm分辨率運行,並已廣泛用於半導體行業的快速原型制作和批量生產運行。ULTRATECH 900的9nm分辨率可以在晶圓表面上創建極其精確和可重復的圖案。作為一個步進系統,它能夠彌合島嶼或晶圓上其他目標之間非常小的間隙,使其非常適合產生狹窄的互連或通道。900設計為高度可靠,允許連續生產運行,而不必擔心設備錯誤或其他代價高昂的中斷。在光學方面,ULTRATECH 900配備了自動成像裝置,可更快、更準確地將目標放置在晶圓表面上。900的另一個特點是它可以自動調整步長和激光電源設置,從而可以更好地控制每個模式運行過程的差異。ULTRATECH 900還有一個內置的數據收集和分析機器,可以方便地監測與步進過程有關的所有數據。900配備了由高精度對準工具驅動的旋轉木馬級,使得晶圓目標在整個生產過程中能夠快速索引。此外,ULTRATECH 900配置了雙光束激光器,可用於產生復雜的形狀和特征,如切口和T型連接。900還包括一個自動化的負載和卸載站,它有助於更快地更改作業。ULTRATECH 900還設計用於低維護和易用性,並配有一套用於監控和調整過程參數的工具。此外,900還配備了全方位的安全功能,包括可編程電流和電壓限制、激光脈沖監測、光束中斷檢測等。這些功能有助於防止電源異常,防止代價高昂的資產損壞和生產中斷。ULTRATECH 900是客戶在晶圓處理中尋求高速、精度和可重復性的絕佳步進模型。900利用其先進的成像設備、雙光束激光器、自動旋轉木馬級和對準系統以及自動裝卸站,能夠在晶片表面上產生可重復的微橋和其他特征,但變化最小。
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