二手 ULTRATECH AB200 #9181879 待售

ULTRATECH AB200是為制造半導體晶片而設計的自動化晶片步進器。它采用四軸無刷直線電機系統，采用高精度編碼器進行反饋控制。AB200具有快速更換的纖細透鏡系統,適用於各種晶圓尺寸,包括4英寸、5英寸、6英寸和8英寸。它有一個可調的Z軸和一個用於精確調平和均勻拾取的電動卡盤。晶片用可調節的固定真空卡盤鎖定到位。ULTRATECH AB200的特點包括有源光學對準、晶圓自動感應和正面向下掃描、步進尺寸對準、完全自動對焦以及基於軟件的自動標線對準例程,這些都提供了卓越的精度和速度。它支持最常見的光刻成像格式，包括光柵、直線和矢量選擇。在安全性方面，AB200采用雙級技術。該系統不斷向步進器發出信號，以確保晶片裝卸過程中的安全。此外，ULTRATECH AB200還提供了先進的噴砂防護，以增加對汙染的防護。AB200提供高效可靠的半導體晶片處理,使其非常適合各種應用,包括晶片切割、器件表征和IC測試。其電動Z軸有助於精確的Z高度設置,以便在每個晶片表面上進行均勻處理。其可調真空卡盤為每個晶片尺寸提供了一個優化的、安全的配合.ULTRATECH AB200是一種經濟高效且可靠的晶圓步進器,適用於各種應用。它具有高精度的精度和優異的安全特性，使其成為可靠的半導體晶圓加工工具。