二手 ULTRATECH AP 300 #293605731 待售

ULTRATECH AP 300晶片步進器是一種先進的高性能步進器，提供高達6英寸的單晶片處理。它能夠在包括光刻、光刻塗層和顯影、濕蝕刻、擴散和離子植入在內的各種工藝中以16位位置分辨率達到至少1.25 µm的可重復覆蓋配準精度。ULTRATECH AP300采用高分辨率、帶有空氣的氣體放電照明（GDI）設備，采用雙層光饋通設計，允許光線自由通過而不會失真。橋接、掃描、聚焦/劑量/定時和精確的PAL/ESM控制等先進技術使實現最高分辨率和叠加精度成為可能。這使得它特別適合於展示和曝光多達6英寸的基板。"AP 300提供了惰性、高真空室，使其能夠進行焊接過程。該系統與光學進給通路和堅固的多ARC（自動標線中心）控制單元協同工作，提供卓越的性能和精度。步進器能夠集成數據轉換和助推器負載等高級流程模式。「數據轉換」模式將切片數據轉換為3-D進程數據,並允許自動映射和處理應用程序。Booster Load模式為各種基材提供了穩定、連續的負載曲線，提高了產量和吞吐量精度。AP300采用先進的數字掃描儀,可提供高精度和快速的開發時間。該工具采用高速8位DSP（數字信號處理器）,包括6個可調旋鈕,便於用戶使用。資產配備精密的高分辨率圖像，提供無與倫比的性能和準確性。ULTRATECH AP 300還擁有防反射塗層，減少表面反射，並確保激光圖案清晰投射。此外，ULTRATECH AP300還配備了一個緊急沖洗模型，旨在安全和迅速地清除腔內的任何殘留氣體。它還具有一個內置故障顯示,用於在發生任何事件或故障時通知操作員並發出警報。AP 300是需要卓越可靠性能和準確性的用戶的完美工具。其先進的技術和用戶友好的設計使其成為集成電路制造工藝的絕佳選擇。