二手 ULTRATECH AP 300 #9248655 待售

ULTRATECH AP 300晶圓步進器是當今最先進的晶圓步進器之一。它旨在提供納米級超精密的大體積晶片圖樣。該設備配備了高精度的隔膜泵，即使在高工藝速率下也能保持最高精度和可重復性。該系統的大級尺寸允許大樣品的高通量圖樣，以及要圖樣化晶圓的整個特征集的精確定位。ULTRATECH AP300具有先進的運動控制平臺,具有開環和閉環控制功能,可最大程度地控制設備的可重復性和精度。該機還配備了用於位置反饋的超精密激光幹涉儀，以及獲得ULTRATECH專利的用於超精密速度控制的脈沖寬度調制（PWM）電動機。這樣就可以在整個晶圓表面進行精確、可重復的納米級圖案。AP 300利用豐富的功能集,可以快速設置進程。它兼容多種光刻技術，包括UV、KrF、e-beam等。該工具可用於指導陣列蝕刻、定義關鍵尺寸、以3D創建陣列等。它還利用自動化模式創建資產,允許用戶快速配置新流程。AP300還包括若幹安全和環境特征。該模型包括安全切斷裝置，使其能夠在出現問題時自動關閉，以及采取預防措施盡量減少環境汙染物。此外,設備還會自動執行定期維護,例如清潔和檢查磨損情況,從而延長系統的使用壽命。總體而言,ULTRATECH AP 300晶圓步進器是一個功能強大、可靠且超精確的單元,旨在為大型曲面提供業界領先的陣列精度。其先進的運動控制機器允許對功能進行難以置信的重復和精確定位,而其自動化的模式創建工具和安全功能可確保快速、安全地執行過程。ULTRATECH AP300能夠實現納米級制圖精度，是大型晶片快速、精確制圖的理想選擇。