二手 ULTRATECH AP200 #293630413 待售

ULTRATECH AP200是一種多維、高精度的晶圓步進器，設計用於集成電路制造中的精確光刻。這臺創新的機器能夠使用具有精確可重復性的直接成像技術，以400 nm的分辨率在晶片上精確放置圖樣。ULTRATECH AP 200配備了二維舞臺，可以在X、Y和Z軸中移動。該級由三臺精確安靜的直接驅動電動機驅動，提供了晶圓的高效定位。步進器還具有雙級工藝控制器、多個全畫幅區域和一個現場可編程門陣列（FPGA）。所有這些組件協同工作,提供成功的光刻運行所必需的高精度對齊、精密叠加和可重復性性能。除了精確的運動控制，AP200還配備了先進的成像能力。它具有全幀間傳輸CCD（電荷耦合器件）攝像機和發光二極管（LED）陣列,可提供各種較小場尺寸的精確成像。指示燈可以打開和關閉,以便在不同的曝光場大小之間切換,而攝像頭則用於監視整個區域,以確保不出錯。為了保證光刻運行時的最高精度，AP 200還配備了大量先進的計量和晶圓處理功能。這包括自動對焦和自動對齊功能,以確保圖樣在晶圓上精確對齊。它還具有晶片處理機制，使其能夠準確放置和移除晶片，而不會受到任何損壞或汙染的危險。綜上所述，ULTRATECH AP200是一種多維、高精度的晶圓步進器，在集成電路的制造中設計用於精確的光刻。它具有精確的可重復性、二維舞臺、先進的成像功能、全畫幅的線間傳輸CCD攝像頭、LED燈陣列、自動對焦和自動對準功能以及安全高效的晶圓處理機制。所有這些特性使其成為滿足任何光刻需求的理想解決方案。