二手 ULTRATECH AP200 #9225121 待售

ULTRATECH AP200是一種先進的晶圓步進器，旨在以極高的精確度創建平板基板的高分辨率光刻面膜。此步進器專為難以到達的曲線和銳利的對齊特征而設計。也適用於介電、光敏、埋層圖樣。步進器具有8英寸-300毫米晶圓尺寸,在設計規則密度、層數、精度、可重復性和磁場尺寸方面具有靈活的選項。它提供4-6微米水平線性分辨率，0.13微米垂直/z軸分辨率用於各種對準操作。步進器還有一個無與倫比的字段重叠，以保持嚴格的模式註冊。ULTRATECH AP 200具有高能光印頭系統,具有脈沖幅度調制（PAM）技術。這一特性使打印頭的輸出能夠精確調制，以更好地匹配特定畫筆圖樣的強度輪廓，減少圖樣失真。它還設計了包括KrF、ArF、HeCd和寬帶UV在內的一系列曝光源。除了高分辨率成像功能外,AP200還結合了現場、晶格和隔離模式曝光等高級控制功能,以及曝光後烘烤。還提供了完整的晶圓級和基板級檢測陣列。這些高級處理功能包括Automated Parameter和Recipe Manager（保存、檢索和修改參數化配方的能力）和Automated Thermal Profiling（自動熱分析允許快速可靠的精確溫度調節）。AP 200是大型光刻面膜制造的領先晶圓步進器.它的高分辨率成像和多重曝光能力使其成為生產平板顯示器、插入器、多芯片封裝和其他先進半導體晶圓廠應用的理想選擇。其強大的特性，如曝光源、晶片級和基板級檢查，以及自動參數和配方管理，使其成為要求苛刻的光刻工藝的可靠和經濟高效的解決方案。